使用扩散泵获得极高的真空

扩散泵的优点是对惰性气体的抽吸效果更好。已经确定扩散泵在非常低的压力下（至少达到10-13Pa），氦气的抽速保持不变，扩散泵对惰性气体有效。因此，尽管扩散泵是带油的泵，但仍有许多非常高的真空系统将其用作主泵。从文献报道来看，几乎所有10-12Pa以下的系统都使用扩散泵。然而，由扩散泵的回流引起的油污染限制了其应用。影响扩散泵系统极限压力的另一个因素是氢气的压缩比。图16-14显示了扩散泵的入口压力和出口压力之间的关系。如果泵送液体使用无油液体，则使用扩散泵是获得极高真空的理想泵送方式之一。